日時：１１月１５日（金）10：30〜12：00
Cisco Web ex によるネット配信．
プログラム
1. ナノ構造の熱物性を計測するサーモリフレクタンス顕微鏡と半導体分野への応用 （10：30〜12：00）
内山 知也 （サイエンスエッジ株式会社）
光の反射率が温度に依存する現象を利用し、非接触でナノ・マイクロ構造の熱物性を評価する周波数領域サーモリフレクタンス（FDTR）顕微鏡を使って、最小粒径５μmの放熱フィラー粒子の熱伝導率を測定した事例を紹介する。さらには、FDTRを用いた先端半導体材料の分析事例として、ウェハの接合界面の熱コンダクタンスの測定や熱物性値のマッピング測定などの事例を紹介する。
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をRC301熱WG幹事・畠山（hatake(at)pu-toyama.ac.jp (at)を@に変えてください）までご連絡ください。(at)を@に変えてご送信下さい．
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